某電子公司是國內重點集成電路封裝測試企業(yè)，該公司主要從事半導體集成電路、半導體元器件的封裝測試業(yè)務，其生產線廢水主要包括兩部分，一部分為晶元的減薄劃片廢水、另一部分為電鍍錫化廢水。減薄劃片廢水中主要含有大量的硅粉微粒，SS約2000mg/L左右，特性很穩(wěn)定，不易沉降，電導率僅為2-4µs/cm，東洋采用自主研發(fā)的二級連續(xù)UF膜系統(tǒng)進行進行廢水回收利用，廢水回收利用率≥90%，回收水質好，同時回收硅粉。在此主要介紹電鍍錫化廢水的回用處理系統(tǒng);廢水中主要含有Cu、Sn、酸堿、有機物等，在該項目中首先要做好分質分流是尤為重要，把錫化電鍍線上的廢水按照水中的成份及濃度來分質收集，主要分為漂洗廢水、重污染廢水、有機槽廢液三路，水質如下：
2 工藝流程
2.1項目承接方對電鍍廢水回用采用的工藝(如圖2)與目前較多電鍍企業(yè)廢水的回用工藝(如圖1)簡單比較：
圖1是把所有電鍍廢水混合集中收集，先經過物化或生物一系統(tǒng)處理，然后把上清液進行膜系統(tǒng)回收，因在廢水處理過程中，投加了大量的PAC、PAM等，藥劑中含有大量的陽離子物質存在水中，很容易與回用膜元件表面電荷結合而堵塞膜元件，更不能保證很高的回收率，通常回收率最高僅能達到50%，往往并不能保證長期穩(wěn)定的運行;因投加了大量的藥劑，使廢水的含鹽量也大大的增加，所以也降低了回用水水質;通過膜技術回用后的濃縮水重金屬通常會超標，不能直接排放，這樣只能回到廢水前處理系統(tǒng)中，從而增加了廢水處理部分的負荷及水量，嚴重影響廢水處理部分的效果，同時占地及土建投資也增大。
經過多年電鍍廢水及涉重金屬的研究及工程實踐，摸索出一套成熟穩(wěn)定的電鍍廢水回用技術(連續(xù)錯流抗污染多級膜法回用)，把電鍍廢水分質收集，單獨膜法回用，回用水可分別用到對應的生產線或作為自來水使用;目前項目承接方采用的回用理念是“先回用后處理”，把廢水先進行分質收集，單獨膜法回用，回收率≥85%，濃縮后的廢水中重金屬離子濃度可提升到100倍以上，對該濃縮廢水可通過重金屬回收裝置(專利號：CN201010578758.5)進行重金屬的提取，大大提高了重金屬的回收效率，回收重金屬的同時，也減輕后需廢水處理的負荷。
從實際工程效果來看，圖2較圖1的回用理念更先進，具有更高的回收率，系統(tǒng)具有更高的穩(wěn)定性，不易堵塞，回用水質更高;圖2不僅可回收純水而且同時可以回收貴重金屬，特別對含貴重金屬的回收價值更大，回收的重金屬純度可達到97%，回收效率≥90%。
2.2 某電子電鍍廢水回用及處理工藝
工藝說明：清洗廢水主要包括酸性清洗廢水及堿性清洗廢水兩大部分，廢水中主要含有硫酸、硫代硫酸鈉、甲基磺酸、堿性液、銅、錫及添加劑等，混合后的清洗水主要偏酸性，多路清洗廢水匯集于調節(jié)池，通過曝氣攪拌，使水質水量達到調節(jié)作用，調節(jié)后的水進入多介質過濾系統(tǒng)主要是攔截較大顆粒物及膠體，然后進入MF/UF(可選項)，主要去除較小懸浮物、膠體、細菌微生物等，MF/UF具有自動運行、沖洗功能;MF/UF透過液進入膜脫鹽系統(tǒng)，主要是脫除水中鹽份，該膜元件是根據電鍍廢水的特性，采用連續(xù)錯流抗污染技術，少量的濃縮水中含有較高的重金屬，先進行重金屬回收(若較貴重的重金屬可分開收集單獨回收重金屬，達到純度更高的重金屬)，再把回收后的廢水供至污水站進行物化或生化處理達，最終確保出水水質達到《電鍍污染物排放標準》(GB21900-2008)指標。
本系統(tǒng)的水資源系統(tǒng)回收率≥85%，重金屬等離子的回收率≥90%，金屬純度≥97%。此項技術已經申請國家發(fā)明專利，專利申請?zhí)枺篊N201010578758.5。
3 設備平面布置圖
1：絮凝劑加藥 2：多介質過濾器 3：微濾 4：超濾 5：超濾水箱 6: RO增壓泵 7：保安過濾器 8：阻垢劑加藥 9：一級高壓泵 10：一級錯流抗污染RO 11：中間水箱 12：RO增壓泵 13：PH調節(jié)加藥 14：二級高壓泵 15：二級反滲透裝置 16：RO產水箱 17：EDI增壓泵 18：EDI前置過濾器 19：EDI裝置 20：氮封水箱 21：外供變頻泵
5 本系統(tǒng)設施的特征
在工藝設計、設備選型方面力求做到技術先進、工藝可靠、設備美觀、性能優(yōu)越、占地面積小、操作簡單與維護方便。
本系統(tǒng)采用可編程邏輯控制器(PLC)完成電氣和儀表部分的全自動控制，同時可顯示工藝過程中的主要監(jiān)測指標以及系統(tǒng)運行狀態(tài)，對重要參數(shù)如流量、電導率、pH值、壓力等設有在線檢測儀表，并設定有超限報警功能。
6 設施運行監(jiān)測結果
設備于2010年7月底開始調試，2010年8月底達到穩(wěn)定運行，實際運行回用效果見表2。
7 技術經濟指標及效益分析
電費按0.80元/(kW·h)計，費用為2.2元/m3;藥劑費為0.4元/m3(絮凝劑ST 8mg/l,阻垢劑 3mg/l);更換配件及維護費用0.8元/m3;人工費用0.1元/m3,綜合折舊費(設備折舊按10a、土建按20a計算)0.49元/m3,處理的成本為3.99元/m3。
廢水回用系統(tǒng)每年可回收純水為336600m3,回收的水質較好，每年可回收重金屬約2160kg;金屬純度≥97%。廢水處理系統(tǒng)每年減排了336600 m3,廢水，減少了COD及重金屬的排放量，回用后廢水量大大減小，有效的節(jié)省了土建的投資及占地面積，有效減小了對環(huán)境的污染。
8 總結
1)分質收集單獨回用是廢水高效回用的前提條件。
2)“先回用后處理”的回用理念是較先進的，避免投加的藥劑造成二次污染。
3)采用連續(xù)抗污染錯流多級回用電鍍廢水需做好預處理及膜的選擇很關鍵，連續(xù)抗污染錯流多級是穩(wěn)定、高效的回用方式，回收率≥85%，對重金屬等離子的去除率≥90%，回收的純水水質好，可回用制取高純水。
4)根據不同高濃度有機廢水可選用對應極板涂層的重金屬回收裝置， 對COD可強氧化降低，陽極板材料尤為重要，直接影響COD的去除效果，同時陰極回收重金屬，處理后的廢水再與低濃度的廢水混合處理，這樣降低高濃度有機廢水對整個廢水處理系統(tǒng)的負荷。
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